Каталог статей /

Фокусируемый ионный пучок

Фокусируемый ионный пучок · Источник ионов · Принцип действия · Устройство · Особенности ионов · Близкие статьи · Литература · Для дальнейшего чтения ·


Фокусируемый ионный пучок (ФИП) (англ. Focused ion beam (FIB)) — широко используемая методика в материаловедении для локального анализа, напыления и травления материалов. Установка для ионного травления напоминает растровый электронный микроскоп. В электронном микроскопе используется пучок электронов, тогда как в ФИП применяют более тяжелые частицы — ионы (с большей кинетической энергией). Бывают установки, использующие оба вида пучков. Не следует путать ФИП с устройством для литографии, где также используется ионный пучок, но слабой интенсивности, а в травлении главным является свойства самого резиста.

Фотография ФИП-установки
Фотография ФИП-установки
  • Russian to English Russian to German Russian to French Russian to Spanish Russian to Italian Russian to Japanese

Информация на сайте из открытых источников. Основа ВикипедиЯ. | Пожалуйста, внимательно прочитайте эту страницу!